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高纯水/超纯水水质的标准是什么

2022-05-13 8:52 作者:安桐 来源:上海远慕生物试剂
纯净水,指的是不含杂质的H2O。

从学术角度讲,纯净水又称纯水、高纯水,是指化学纯度极高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,但其对水质纯度要求相当高,所以一般应用zui普遍的还是电子工业。纯水和超纯水一般都没有统一的标准,通常水的纯度是以其电阻率(或电导率)来表证;也有根据用户的需求来规定。

一般意义上讲纯水至少应该是去离子水,即水中大部分阴阳离子是应该被去除的。细菌、悬浮物等的含量也应是相当低的。

目前水质要求zui高的超纯水是半导体行业,根据半导体芯片的大小和线径的不同水质要求也不一样,其超纯水的水质指标如下:电阻率大于18.2兆欧(25摄氏度);TOC(总有机碳)小于1到10ppb,DO(溶解氧)小于1到10ppb;Particle(颗粒):0.05微米小于200个/升;离子含量大部分是小于20到50ppt;细菌检测:无。但对于高纯水来说这是不确切的,应检测纯水中某项杂质的含量来表证。这是因为:影响高纯水电阻率的主要因素是PH,而不是ppt即10-11M级杂质,电阻率是衡量水中电解质总和的参数,不能表证某一单项杂质的含量,而对于高纯分析所关心的不是杂质的总含量,而是我们所要分析的某单项杂质该元素的含量,即空白值,这显然不能由电阻率给出的,总之,对于高纯水如果仍以电阻率衡量其水质,将会造成错觉。因此,我们以无焰原子吸收光谱法检查纯水的单项杂质含量来表证其水质,这样可确切地反映水的纯度。而高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。

高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有:

1.微电子工艺对水质的要求;

2.制水工艺的水平;

3.检测技术的现状。
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